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LSAT 鋁酸鍶鉭鑭晶體基片
產(chǎn)品簡述:
LSAT 鋁酸鍶鉭鑭單晶基片(La,Sr)(Al,Ta)O3從熔點溫度直至低溫下均無孿晶及相變,與高溫超導(dǎo)體YBCO具有相同的結(jié)構(gòu), <001>面與其它襯底相比與YBCO<001>具有適中的晶格失配(2.5~3.5%),同時該晶體的熱膨 脹系數(shù)比其它鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的晶體低,可以在較低的溫度下沉積薄膜從而改善晶格失配及減少應(yīng)力。
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產(chǎn)品詳細
LSAT 鋁酸鍶鉭鑭晶體基片(La,Sr)(Al,Ta)O3從熔點溫度直至低溫下均無孿晶及相變,與高溫超導(dǎo)體YBCO具有相同的結(jié)構(gòu), <001>面與其它襯底相比與YBCO<001>具有適中的晶格失配(2.5~3.5%),同時該晶體的熱膨 脹系數(shù)比其它鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的晶體低,可以在較低的溫度下沉積薄膜從而改善晶格失配及減少應(yīng)力。
LSAT 鋁酸鍶鉭鑭晶體基片主要性能參數(shù)
生長方法 |
提拉法 |
晶體結(jié)構(gòu) |
立方 |
晶格常數(shù) |
a=3.868 A |
熔點(℃) |
1840 |
密度 |
6.74(g/cm3) |
硬度 |
6.5(mohs) |
介電常數(shù) |
22 |
熱膨脹系數(shù) |
10 x 10-6 |
顏色及外觀 |
根據(jù)退火情況由無色到淺棕色,無鸞晶和可見疇 |
尺寸 |
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″ |
厚度 |
0.5mm,1.0mm |
拋光 |
單面或雙面 |
晶向 |
<100>、<110>、<111>±0.5º |
Ra: |
≤5Å(5µm×5µm) |
包裝 |
100級潔凈袋,1000級超凈室 |
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